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MS9000系列硅微加速度计
MS9000系列硅微电容式加速度传感器具有低功耗、低噪声、低成本的显著特点。内置温度传感器,可通过温度补偿提高精度。广泛应用于仪器仪表、机械控制、飞行测试、航空航天、国防等领域。

性能指标

单位

MS9002.D

MS9005.D

MS9010.D

MS9030.D

MS9050.D

MS9100.D

MS9200.D

量程

g

±2g

±5g

±10g

±30g

±50g

±100g

±200g

偏值

mg

<10

<25

<50

<150

<250

<500

<1000

年零偏稳定性@6000g

Mg typ.(max.)

1.5(<5)

3.75(<12.5)

7.5(<25)

22(<75)

37.5(<125)

75(<250)

150(<500)

年零偏稳定性@1000g

Mg typ.(max.)

0.3(<1.5)

0.75(<3.75)

1.5(<7.5)

4.5(<22.5)

7.5(<37.5)

15(<75)

30(<150)

零偏重复性

Mg max.

<0.15

<0.375

<0.75

<1.5

<3.8

<7.5

<15

零偏温度系数

mg/°C typ

<0.1

<0.25

<0.5

<1.5

<2.5

<5

<10

mg/°C max.

±0.4

±1

±2

±6

±10

±20

±40

标度因子灵敏度

mV/g

1000±8

400±4

200±2

66.6±1

40±1

20±1

10±1

年标度因子稳定性

Ppm typ.

300

300

300

300

300

300

300

(max.)

(<1000)

(<1000)

(<1000)

(<1000)

(<1000)

(<1000)

(<1000)

比例因子温度系数

ppm/ typ.

100

100

100

100

100

100

100

min./max.

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

轴对准误差

Mrad max.

<10

<10

<10

<10

<10

<10

<10

% max

1

1

1

1

1

1

1

分辨率/阈值(@1Hz)

Mg max.

<0.1

<0.25

<0.6

<1.7

<2.8

<5.5

<11

非线性

%of FS

max.

<0.8

<0.8

<0.9

<0.9

<0.9

<1

G max.

<0.02

<0.04

<0.09

<0.27

<0.50

<1

<2

带宽

Hz

0 to ≥100

0 to ≥100

0 to ≥100

0 to ≥100

0 to ≥100

0 to ≥100

0 to ≥100

噪声(0;9kHz)

µV/√Hz typ.

18

18

18

18

18

18

18

max.

24

24

24

24

24

24

24

谐振频率

kHz

1.4

2.9

3.7

6.3

11

15

26

操作温度

-55°C +125°C

冲击

6000g0.15ms1/2 sine

振动

20g rms202000Hz

尺寸

8.9×8.9×3.23 mm

重量

<1.5g

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